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壓力傳感器應(yīng)用原理說明
時間: 2023-12-27 09:20:40 瀏覽次數(shù)：
隨著工業(yè)技術(shù)的快速開展，壓力傳感器在精細(xì)測星范疇的應(yīng)用市場前景越來越廣詞。MEMS壓力傳感騾應(yīng)運(yùn)而生。與傳特的壓力傳感器相比，MENMS壓力傳感器不只體積小，而且現(xiàn)星精度高，功耗低，本錢低。大多數(shù)MEMS壓力傳感器的壓力元件是硅膜片。根櫻下同的敏)感機(jī)制)，MENS壓力傳感器能夠分為三種壓阻式、電容式調(diào)和振式。其中，硅壓阻力IMEMS壓力傳感器采用高精度半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片，構(gòu)成惠斯頓。
壓力傳感器的規(guī)范流程如下首先，將四個電阻應(yīng)變片注入拋光的硅襯底，電阻應(yīng)變片設(shè)計在硅珪摸外表應(yīng)力大的中央，構(gòu)成惠斯頓電橋。然后，在圖片的反面，從硅片的中間獨(dú)刻出一個應(yīng)力杯。鍵合圓片的反面。依據(jù)產(chǎn)品應(yīng)用，能夠在應(yīng)力杯中拉真空制造絕壓MEMS設(shè)備，也能夠堅持應(yīng)力杯與大氣的銜接，制成表壓MENS設(shè)備。產(chǎn)品封裝后，當(dāng)珪膜兩風(fēng)的壓差發(fā)作變H時，應(yīng)力硅膜會發(fā)作彈性變形，毀壞原有的惠斯頓電橋電路均衡，從而產(chǎn)生—個電橋。
壓力傳感器的規(guī)范流程如下首先，將四個電阻應(yīng)變片注入拋光的硅襯底，電阻應(yīng)變片設(shè)計在硅珪摸外表應(yīng)力大的中央，構(gòu)成惠斯頓電橋。然后，在圖片的反面，從硅片的中間獨(dú)刻出一個應(yīng)力杯。鍵合圓片的反面。依據(jù)產(chǎn)品應(yīng)用，能夠在應(yīng)力杯中拉真空制造絕壓MEMS設(shè)備，也能夠堅持應(yīng)力杯與大氣的銜接，制成表壓MENS設(shè)備。產(chǎn)品封裝后，當(dāng)珪膜兩風(fēng)的壓差發(fā)作變H時，應(yīng)力硅膜會發(fā)作彈性變形，毀壞原有的惠斯頓電橋電路均衡，從而產(chǎn)生—個電橋。
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